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晶圓水滴角測量儀測試效果-品智創(chuàng)思
  • 發(fā)布日期:2020-02-17      瀏覽次數(shù):1897
    • 晶圓接觸角測量儀采用CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī),配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng),搭配三維樣品臺,可進(jìn)行工作臺上下、前后等方向移動。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺,能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié),擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能,測試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下,能讓用戶對材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計(jì)美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。

      晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓工藝的質(zhì)量控制。提供晶圓表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析,從而評估粘性,潔凈度及鍍膜。 采用輕量化的設(shè)計(jì)、組裝方便和的基于 Windows標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好型軟件,以創(chuàng)建一個(gè)即準(zhǔn)確容又容易使用的接觸角測量儀系統(tǒng)。 注射滴液機(jī)制可以抬起便于裝載,消除了對晶圓 (Wafers)可能產(chǎn)生的損壞。用于晶圓表面分析,同時(shí)也可用于其它需要測量較大體積樣件的分析應(yīng)用。樣件可允許 300 X 300 X 19mm。

      水滴角測量儀主機(jī)及測試視頻的操作視頻及圖片:

      (1)主機(jī)使用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)理念,集成芯片電路控制,保證儀器以狀態(tài)運(yùn)行;

      (2)成像部分使用高性能工業(yè)機(jī)芯及無失真遠(yuǎn)心鏡頭確保的成像效果。

      (3)工業(yè)級可調(diào)LED單波長冷光源系統(tǒng),成像清晰

      (4)自動位移平臺,實(shí)現(xiàn)Y、Z自動定位測量,定點(diǎn)地位更準(zhǔn)確,測量效率更高

      規(guī)格:

      主機(jī)外形尺寸:1200mm(長)*600mm(寬)* 670mm(高) 主機(jī)凈重:55KG

      工作臺面尺寸:420mm*420mm

      工作臺移動:自動,行程160mm,精度0.01mm;上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm

      進(jìn)樣器移動:自動上下60mm(自動); 左右30mm

      工業(yè)鏡頭:前后移動30mm(微調(diào)3mm),0.7X *-4.5X連續(xù)變倍變焦顯微鏡

      CCD:高速工業(yè)級芯片; 鏡頭角度可調(diào)試:仰視、平視、俯視多視角觀察

      光源:LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級冷光源;使用壽命達(dá)貳萬伍仟小時(shí)以上

      電源及功率:220V / 60HZ

      晶圓產(chǎn)品處理前WORD報(bào)告及測試圖片:我們對樣品進(jìn)行十個(gè)點(diǎn)的測試,平均角度72.04度。

      晶圓產(chǎn)品處理后WORD報(bào)告及測試圖片:我們對樣品進(jìn)行十個(gè)點(diǎn)的測試后,再用等離子清洗機(jī)處理,平均角度16.58度。

      標(biāo)樣校檢報(bào)告:儀器檢驗(yàn)信息

      儀器名稱:

      水滴角測量儀

      檢驗(yàn)時(shí)間:

      2018.10.08

      儀器型號:

      PZ-500SD

       

      晶圓接觸角測量儀應(yīng)用

      1、液體在固體表面的接觸角和潤濕性:包括靜態(tài)接觸角,動態(tài)接觸角(前進(jìn)/后退接觸角),接觸角滯后性等;

      2、液滴在固體表面的起始滑動角(或滾動角),滑動速度;(擴(kuò)張功能)

      3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為;

      4、固體表面自由能,及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻(xiàn);

      5、液體在固體表面的粘結(jié)力(adhesion)、滯留力(retention)等;

      6、固體表面在經(jīng)過清洗、處理后的結(jié)果(效果)評估:如潔凈度(cleanliness),均勻性(homogeneity),和表面能改變幅度等;

      7、液/流-體系的表面/界面張力:包括靜、動態(tài)表/界面張力的測量;

      8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場、在線、實(shí)時(shí)監(jiān)測;

      9、表面活性物質(zhì)(如表面活性劑)臨界膠團(tuán)溶度(CMC)的測量:包括全自動CMC測量,全自動有關(guān)配方的篩選和優(yōu)化;

      10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究;

      11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性:如乳狀液/泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過程的測量和分析等。

      12、全自動檢測整體解決方案,可搭配至流水線上使用,提高檢測效率;

       

      二·設(shè)備原理解析(Principle analysis

       

      規(guī)格

      1. 主機(jī)外形尺寸:1200mm(長)*600mm(寬)* 670mm(高) 
      2. 主機(jī)凈重:55KG
      3. 工作臺面尺寸:420mm*420mm
      4. 工作臺移動:

       前后移動 自動,行程160mm,精度0.01mm
              上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm

      1. 進(jìn)樣器移動:自動上下60mm(自動);  左右30mm
      2. 工業(yè)鏡頭移動:前后30mm(微調(diào)3mm)
      3. 工業(yè)鏡頭:0.7X *-4.5X高清遠(yuǎn)心連續(xù)變倍變焦顯微鏡
      4. CCD:高速工業(yè)級芯片;60幀/S
      5. 鏡頭角度可調(diào)試:仰視、平視、俯視多視角觀察
      6. 光源:LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級冷光源;使用壽命達(dá)貳萬伍仟小時(shí)以上
      7. 電源及功率:220V / 60HZ

       

      (二)分析軟件:

      (1)接觸角測量分析軟件自動橢圓擬合法(一鍵自動擬合,不存在人工誤差)包括:

      圓法擬合(適用于低角度接觸角測量)

      橢圓/斜橢圓擬合法(適用于高角度接觸角擬合)

      LY(應(yīng)用于120°以上高角度接觸角測量)

      微分橢圓法/微分圓法(應(yīng)用于不規(guī)則液滴形態(tài)接觸角的擬合)

      1. 動態(tài)接觸角擬合包括:

      潤濕性能測試(應(yīng)用于慢性吸收材料、潤濕材料的表面吸收或潤濕性能測試,批量處理)

      視頻擬合(應(yīng)用于吸收或潤濕速度較快的樣品的吸收或潤濕性能測試,視頻動態(tài)處理)

      1. 動態(tài)表面/界面張力測量(測量液體整個(gè)過程的張力變化趨勢,更準(zhǔn)確的判定其真實(shí)的表面/界面張力)
      2. 表面能量計(jì)算(使用多種表面能計(jì)算方式測量對固體表面能量進(jìn)行分析)
      3. 粘附功
      4. 數(shù)據(jù)報(bào)告(支持WORD、Excel類型數(shù)據(jù)報(bào)告,自動生成晶圓模式數(shù)據(jù)譜圖)

      規(guī)格:

      1. 接觸角測量范圍:0-180°
      2. 接觸角測量精度:±0.1°
      3. 表界面張力測量范圍:0-2000mN/m;測量精度:0.01 mN/m
      4. 高精度自動滴液系統(tǒng):軟件高精度滴液系統(tǒng);滴液精度:0.0 1μl
      5. 一鍵式多點(diǎn)測量(可多次循環(huán)):自動進(jìn)樣→自動接液→軟件自動完成測量→自動換下一個(gè)點(diǎn)位
      6. 可針對不同樣品設(shè)置測量方案并可保存,方便下次再次測量同一類樣品時(shí)直接調(diào)取測量

       

      四·產(chǎn)品特點(diǎn)(Product features)

      1. 高精度注射系統(tǒng),全電腦控制,液滴控制精度可達(dá)0.01μl
      2. Y軸自動位移,平臺自動旋轉(zhuǎn),可一次測量多個(gè)已設(shè)置點(diǎn)并給出對應(yīng)測量數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)全自動化測量
      3. 工業(yè)級可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)(壽命25000H以上),更清晰的成像,同時(shí)避免額外熱度所導(dǎo)致的小液滴揮發(fā)
      4. 采用高性能工業(yè)機(jī)芯,無失真遠(yuǎn)心鏡頭,確保的成像效果。
      5. 采用USB2.0標(biāo)準(zhǔn)接口,數(shù)據(jù)傳輸速度快,兼容性高
      6. 高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu),模塊化設(shè)計(jì)理念,可配置各種常用測量附件
      7. 集成芯片電路控制,保證儀器以狀態(tài)運(yùn)行
      8. 多種輔助模塊選取,滿足更多的外部測試條件
      9. 光學(xué)系統(tǒng)頂式法,適合超低角度測量和疏水材料測量
      10. 多種接觸角分析方法,更適合多種材料接觸角測量
      11. ,能夠自動識別基準(zhǔn)線及輪廓線,無人為誤差
      12. 高速全自動操作測量,且直觀讀取數(shù)據(jù)結(jié)果,有圖有真相,有擬合痕跡,測流量結(jié)果是否準(zhǔn)確一目了然
      13. 表面接觸角分析模塊,更簡捷的操作,更準(zhǔn)確的結(jié)果
      14. 視頻快速測試數(shù)據(jù),可連續(xù)性進(jìn)測試接觸角形態(tài)變化
      15. 一鍵式軟件操作: 【按空格鍵】--打開攝像頭; 【測試】--準(zhǔn)確的控制滴液-自動接液-高精度的進(jìn)行全自動測量-測量完畢后自動更換測量位置直至整個(gè)原設(shè)置好的測量方案運(yùn)行結(jié)束
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